自古以來，全省幾乎所有寺廟都建有碑刻。 五河山現存石刻近30處，其中清代碑刻3處。 碑文由底座、碑身和樓頂三部分組成。 樓身多為八角形，刻有道教格魯派真言。 碑文以旗幟造型為基礎，結合中國傳統建筑的變化。 旌旗除了是道教中常見的莊嚴法器外，也是唐代儀仗隊中不可或缺的莊嚴法器。

裝扇為八角經筒，桿上纏絲織物，兩側各有佛經或神像等書法圖案。 頂部有盤蓋，飾有垂簾、彩帶等飾物，桿頭上還鑲嵌著珍貴的珍珠，十分富麗堂皇。 但這些絹織玉幡不易保存，所以為了堅固耐用，用石頭雕刻而成，并在幡頂刻有《佛尊勝陀羅尼經》等真言，所以被稱為石雕。 樓形為八角形，我們所見的石刻大多為八角形。 這些一成不變的圖案，都取材于經典。

《佛經廣大辭典》云：“經樓為刻有經文的石柱，亦作石樓，通常用八角石柱，上刻佛冠?！?五河山現存大成殿均為八角形，用料除涌泉寺的“尊圣樓”為木雕外，均為石材。 有雙層和多層石雕，樓身多刻有《佛尊勝陀羅尼經》文字和神像圖案。 單調的石雕降低了藝術欣賞價值。

佛光寺東配殿前有唐大中十一年（857）所刻碑。 總高2.84米，建筑外徑0.44米。 蹲著一頭獅子，獅子靠在它的脖子上，用力扶著仰蓮。 其上矗立著一尊高1.33米的八角形佛身陀羅尼經幢，刻有《佛尊勝陀羅尼經》及序言，其上有一比樓身還大的佛身。 圈外八角柱式華蓋，高27分，八面雕有珠飾、花環、流蘇、紅櫻花等圖案，八角飾有蝴蝶結立柱。

華蓋之上是矮小的八角樓，龕內雕石佛，隔壁雕石。 二層樓上的寶蓋和剎頂不見了。 此樓是五合山現存最早的尊勝陀羅尼碑。 佛光寺文殊殿前有唐顯慶四年（877）刻碑，全高4.9米。 有一座八角經樓，佛身八面各刻一尊偉人塑像。 樓身凈高2.08米，上覆八角形蓋板。 為尖頂八角形華蓋，上覆單層山花芭蕉葉，以桃形蓮珠為頂。

佛光寺的兩尊遼代石刻相隔20年。 它們形狀相似，都有兩層樓。 五臺縣廣濟寺大雄寶殿前矗立著一座雙層八角古石須彌座。 通高4米，下部為八角形身罩。 壽衣部分八面刻泉州。 八角形的身子，結實而結實。 周雕瓔珞、流蘇、幾何紋等圖案，寶蓋飾以雪白蓮花和寶珠。

樓頂碑文雖風化嚴重，字跡不清，但從樓蓋造型和樓頂精湛的石雕技法來看，具有鮮明的明代藝術特色，如像彌勒菩薩穿著長褲和柔軟的校服。 貼近身體，這些“草衣出水”的技藝，盡顯工匠對身體曲線之美的深刻理解，造就如此精湛的工藝。 就連文殊菩薩、普賢菩薩所騎的獅子、大象，也是粗壯的陀羅尼經幢，后腿粗壯。 此類雕塑體態豐滿，腰線流暢。 雕刻工藝精湛，注重寫實，生活氣息濃厚，富有鮮明的明代特色。

以上是五河山僅存的三處明代碑刻。 佛光寺大中十一年（857）碑文除缺頂外，其余兩處保存完好。